光刻設備

科技新聞2025年10月29日

美新創公司Substrate芯片製造工具媲美ASML

美國小型新創公司Substrate（基材科技）週二宣布，已開發出一款芯片製造工具，可與荷蘭公司阿斯麥（ASML）製造的最先進光刻設備相媲美。